LEXT™ OLS5100 3D Laser Scanning

Mikroskop Laser untuk Analisis Material

Smart Workflow, Eksperimen Lebih Cepat

Dibangun untuk analisis kegagalan dan penelitian rekayasa material, mikroskop laser OLS5100 menggabungkan akurasi pengukuran yang luar biasa dan kinerja optik dengan alat pintar yang membuat mikroskop mudah digunakan. Ukur bentuk dan kekasaran permukaan dengan tepat pada tingkat submikron dengan cepat dan efisien untuk menyederhanakan alur kerja Anda dengan data yang dapat dipercaya.

Main unit

Model OLS5100-SAF OLS5100-SMF OLS5100-LAF OLS5100-EAF
Total magnification

54x–17,280x

Field of view

16 µm–5,120 µm

Measurement principle Optical system Reflection-type confocal laser scanning laser microscope
Reflection-type confocal laser scanning laser-DIC microscope
Color
Color-DIC
  Light receiving element Laser: Photomultiplier (2 channels)
Color: CMOS color camera
Height measurement Display resolution 0.5 nm
  Dynamic range 16 bits
  Repeatability σn-1*1 *2 *5 5X: 0.45 μm, 10X: 0.1 μm, 20X: 0.03 μm, 50X : 0.012 μm, 100X : 0.012 μm
  Accuracy *1 *3 *5 0.15+L/100 μm (L:Measuring length[μm])
  Accuracy for stitched image *1 *3 *5 10X: 5.0+L/100 μm, 20X or higher: 1.0+L/100 μm (L: Stitching length [μm])
  Measurement noise (Sq noise) *1 *4 *5 1 nm (Type)
Width measurement Display resolution 1 nm
  Repeatability 3σn-1  *1 *2 *5 

5X: 0.4 μm, 10X: 0.2 μm, 20X: 0.05 μm, 50X: 0.04 μm, 100X: 0.02 μm

  Accuracy *1 *3 *5 Measurement value +/- 1.5%
  Accuracy for stitched image *1 *3 *5 10X: 24+0.5L μm, 20X: 15+0.5L μm, 50X: 9+0.5L μm, 100X: 7+0.5L μm (L: Stitching length [mm])
Maximum number of measuring points in a single measurement

4096 × 4096 pixels

Maximum number of measuring points

36-megapixels

XY stage configuration Length measurement module NA NA
  Operating range

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) Motorized

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) Manual

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) Motorized

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) Motorized

Maximum sample height

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)

Laser light source Wavelength 405 nm
  Maximum output 0.95 mW
  Laser class Class 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
Color light source White LED
Electrical power 240 W 240 W 278 W 240 W
Mass Microscope body Approx. 31 kg (68.3 lb) Approx. 32 kg (70.5 lb) Approx. 50 kg (110.2 lb) Approx. 43 kg (94.8 lb)
  Control box Approx. 12 kg (26.5 lb)

*1 Dijamin bila digunakan dalam suhu konstan dan lingkungan suhu konstan (suhu: 20˚C±1˚C, kelembaban: 50%±10%) yang ditentukan dalam ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Untuk 20x atau lebih tinggi, bila diukur dengan tujuan seri MPLAPON LEXT.
*3 Saat diukur dengan tujuan LEXT khusus.
*4 Nilai tipikal ketika diukur dengan tujuan MPLAPON100XLEXT, dan mungkin berbeda dari nilai yang dijamin.
*5 Dijamin di bawah Sistem Sertifikat Olympus.

** Lisensi OS Window 10 telah disertifikasi untuk pengontrol mikroskop yang disediakan oleh olympus. Oleh karena itu, persyaratan lisensi Microsoft diterapkan dan Anda menyetujui persyaratan tersebut.